质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
用途与特点编辑:质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,广东气体流量控制器,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,气体流量控制器,混气配气系统,广州气体流量控制器,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,气体流量控制器厂家,制药等。特点:精度高,重复性好。
流量计一般分为以下几种类型:容积式流量计; 浮子式流量计;差压式流量计 ;涡街流量计;涡轮流量计;超声流量计;电磁流量计;热式流量计;
质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM),用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点:采用主体不锈钢(316L)结构,与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等;适用于各种腐蚀性气体;气体流量不因温度、压力的变化而失准;高精度;重复性好;响应速度快、软启动、稳定可靠;低压降;工作压力范围宽(可以在高压或真空条件下工作);操作使用方便,可任意位置安装;便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域;半导体制造行业的气体流量控制。