流量控制器、弗罗迈、Aera流量控制器

     质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。  

     S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；高精度；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。  S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。

对夹式装置要点      

1.法兰与直管段焊接时，高温气体质量流量控制器，应卸下传感器，Aera流量控制器，不能带着传感器焊接。      

2.传感器装置时，应使壳体上的流向标志与管道内流体流向共同。      

3.法兰焊接结束后，管道内要整理洁净不得存有焊接渣等杂物。      

4.传感器装置前，流量控制器，法兰槽内有必要说得好密封垫圈。  

5.在管道上用气焊开一个略小于φ 100mm 的圆孔，并把圆孔周围毛刺铲除洁净，以确保测头旋转流利；